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激光干涉儀

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北京合創(chuàng)智達(dá)光電科技有限公司

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動(dòng)態(tài)、超精密,嵌入式測(cè)量，專業(yè)用戶的選擇.ZD-D1500是國(guó)內(nèi)C9大學(xué)、北京合創(chuàng)智達(dá)光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。

詳細(xì)介紹

無(wú)標(biāo)題

ZD-D1500是國(guó)內(nèi)C9大學(xué)、北京合創(chuàng)智達(dá)光電科技有限公司聯(lián)合研發(fā)的新一代快速超精密激光干涉儀。

l 在中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、中國(guó)國(guó)家等單位應(yīng)用

ZD-D1500核心技術(shù)指標(biāo)均通過(guò)中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院等法定計(jì)量機(jī)構(gòu)的檢定校準(zhǔn)。

l 激光真空波長(zhǎng)準(zhǔn)確度 1.2×10-8（k=3）

l 動(dòng)態(tài)測(cè)量分辨力 0.3 nm

l 速度 1500 mm/s

l 數(shù)據(jù)更新率 10MHz

ZD D1500特征與優(yōu)勢(shì)

n 高測(cè)速與高精度的統(tǒng)一！突破了高速激光干涉儀的動(dòng)態(tài)信號(hào)處理技術(shù)，無(wú)論是動(dòng)態(tài)測(cè)量還是靜態(tài)監(jiān)測(cè)，均可實(shí)時(shí)提供超精密測(cè)量結(jié)果！

n 非接觸多維振動(dòng)測(cè)量！采用自定義的VME硬件接口模式，更新速度10MHz，可實(shí)現(xiàn)即測(cè)即知，測(cè)量動(dòng)作延遲漂移小于0.3ns,引入動(dòng)態(tài)測(cè)量誤差小于0.5ns！

n 本土化產(chǎn)品的快速供應(yīng)！國(guó)外激光測(cè)振儀出口受到嚴(yán)格管控，而本產(chǎn)品核心部件均來(lái)自國(guó)內(nèi)，30 - 50個(gè)工作日即可供貨，無(wú)需歷經(jīng)嚴(yán)苛的審批過(guò)程！

n 專家級(jí)成套解決方案！超精密級(jí)測(cè)量?jī)x器的測(cè)量精度常被工作環(huán)境、對(duì)象等吞沒(méi)。依托本公司超精密測(cè)量專家團(tuán)隊(duì)，可提供非接觸性激光測(cè)量解決方案！

應(yīng)用領(lǐng)域

n 機(jī)械模態(tài)分析

n 振動(dòng)傳感器校準(zhǔn)

n 微電子光刻機(jī)

n 超精密數(shù)控機(jī)床

n 高頻聲表面波測(cè)試

n 瞬態(tài)微觀位移捕獲

n 高速三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)

n 高速機(jī)光測(cè)長(zhǎng)機(jī)

ZD D1500技術(shù)規(guī)格

儀器整體規(guī)格
測(cè)量速度			1500 mm/s(可選2000 mm/s)
測(cè)量分辨力			0.3 nm
線性精度			0.1/0.012ppm(空氣/真空)
數(shù)據(jù)采樣率			10 MHz
穩(wěn)頻激光器
真空激光波長(zhǎng)準(zhǔn)確度			1.2×10^-8(可選1.0×10^-9)
短期頻率穩(wěn)定度			2×10^-9/3小時(shí)
長(zhǎng)期頻率穩(wěn)定度			1.2×10^-8/工作周期
激光輸出功率			0.2 - 0.5 mW
干涉鏡組
單軸干涉鏡組			光學(xué)4細(xì)分
多軸干涉鏡組			光學(xué)4細(xì)分
光電接收器
探測(cè)頭散熱			0 mW
可探測(cè)功率			0.5 - 50 μW
電子細(xì)分卡
測(cè)量分辨力			0.3 nm@光學(xué)4細(xì)分
接口形式			VME/USB
數(shù)據(jù)更新率			10 MHz
空氣折射率補(bǔ)償
氣壓測(cè)量精度			10 Pa
濕度測(cè)量精度			0.8% RH
溫度測(cè)量精度			0.02 ^oC
材料溫度補(bǔ)償
溫度測(cè)量精度			0.02 ^oC
測(cè)量通道數(shù)			3通道 (可選15通道)
使用要求
使用溫度			15 - 25 ^oC
使用濕度			20 - 70 % RH
工作時(shí)間			20 000 小時(shí)