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行業(yè)產品

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內蒙古光能科技有限公司


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氟化氫分析儀

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產品型號

品       牌

廠商性質其他

所  在  地鄂爾多斯市

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更新時間：2024-07-24 10:06:42瀏覽次數(shù)：43次

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經營模式：其他

商鋪產品：25條

所在地區(qū)：內蒙古鄂爾多斯市

聯(lián)系人：王銳

產品簡介

? ppt 級別測量精度? 測量（無需校準）? 免維護 - 無需定期更換 / 維護傳感器? 響應速度快? 占地面積小

詳細介紹

    • 商品名稱: 氟化氫分析儀
    • 商品編號: AF-HF
    • 副標: AF-HF
    • 微量組分: HF
    • 行業(yè)用途: 半導體制造
    • 產品型號: AF系列

    ? ppt 級別測量精度 ? 測量（無需校準） ? 免維護 - 無需定期更換 / 維護傳感器 ? 響應速度快 ? 占地面積小

    性能

    • 適用氣體：Cleanroom Air

    • 檢測范圍：詳見技術參數(shù)表

    • 測量下限：詳見技術參數(shù)表

    • 靈敏度：±0.75% 或 1/3LDL

    • 準確度：±3% 或 LDL

    • 20ppb 時的響應速度：< 2 minutes

     

    電子參數(shù)

    • 報警指示：系統(tǒng)報警

    • 供電要求：100-240VAC，50/60Hz

    • 功率：300W(MAX)

    • 用戶界面：10.1 寸液晶顯示屏

    • 信號輸出：4-20mA 輸出、RS485 輸出、
      　　　　　自適應網絡、RS-232 串行通信

     

    氣路系統(tǒng)和條件

    • 工作環(huán)境溫度：10℃～ 40℃

    • 工作環(huán)境相對濕度：30%至 80%(無凝液)

    • 存放溫度：-10℃ -40℃

    • 管路材料：316L 不銹鋼
      　　　　　Ra < 0.25μm

    • 檢漏測試：< 1×10-9mbar l/sec

    • 入口壓力：0 ～ 15psi

    • 流量：約 1.0slm

    • 通入氣體溫度： 60℃

    • 進出氣口氣路：1/4VCR 公頭

     

    其它

    • 尺寸：730mm×310mm×248mm

    • 重量：15Kg

    • 外觀：垂直面板

     

    • 被檢氣和背景氣：HF in Cleanroom Air

    • 測量范圍：0-1ppm

    • 測量下限：20.0ppt

    • 靈敏度：7.0ppt


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