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相確精密儀器（上海）有限公司
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LEXTOLS50003D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像
LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡配備的兩套光學(xué)系統(tǒng)（彩色成像光學(xué)系統(tǒng)和激光共焦光學(xué)系統(tǒng)）讓其能夠獲取彩色信息、高度信息和高分辨率圖像。
LEXT OLS5000 3D測量激光顯微鏡有4大關(guān)鍵價值：
捕捉任意表面形狀。
快速獲得可靠數(shù)據(jù)。
使用簡單 - 只需放置樣品并按一下按鈕即可。
測量具有挑戰(zhàn)性的樣品。
價值1：捕捉任意表面形狀。
OLS5000顯微鏡的技術(shù)使其能夠進(jìn)行高分辨率的3D樣品測量。
價值2、快速獲得可靠數(shù)據(jù)
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質(zhì)量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，最終實現(xiàn)生產(chǎn)力的提升。
價值3、使用簡單，只需放置樣品并按一下按鈕即可
LEXT® OLS5000顯微鏡具有自動數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進(jìn)行復(fù)雜的設(shè)置調(diào)整。 甚至生疏的用戶也可以獲得準(zhǔn)確的檢測結(jié)果。
價值4、可測量具有挑戰(zhàn)性的樣品
低輸出、非接觸式無損激光測量意味著不需要樣品制備?？梢栽诓粨p壞易損性材料的情況下對其進(jìn)行測量。擴(kuò)展架可容納高達(dá)210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度可達(dá)25毫米的凹坑。在測量這兩類樣品時，您只需將樣品放在載物臺上即可。
[獲取彩色信息]
彩色成像光學(xué)系統(tǒng)使用利用白光LED光源和CMOS相機(jī)獲取彩色信息。
[獲取3D 高度信息和高分辨率共焦圖像]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)采用405納米激光二極管光源和高靈敏度光電倍增管獲得共焦圖像。淺焦深使其能夠用于測量樣品的表面不規(guī)則性。
[405納米激光光源]
光學(xué)顯微鏡的橫向分辨率隨著波長的減小而獲得提升。采用短波長激光的激光顯微鏡相比采用可見光（峰值550納米）的傳統(tǒng)顯微鏡具有更優(yōu)的橫向分辨率。 OLS5000顯微鏡利用405納米短波長激光二極管獲得的橫向分辨率。
[激光共焦光學(xué)系統(tǒng)]
激光共焦光學(xué)系統(tǒng)僅接收通過圓形針孔聚焦的光線，并非采集從樣品上反射和散射的所有光線。這樣有助于消除模糊，讓其能夠獲得比普通顯微鏡對比度更高的圖像
[X-Y掃描儀]
OLS5000顯微鏡配有奧林巴斯光學(xué)掃描儀。通過將采用電磁感應(yīng)MEMS諧振掃描儀的X軸與采用Galvano掃描振鏡的Y軸相結(jié)合，能夠讓X-Y掃描儀定位于相對物鏡瞳鏡共軛的位置，因而能夠?qū)崿F(xiàn)具有較低掃描軌跡失真和較小光學(xué)像差的X-Y掃描。
[高度測量原理]
在測量高度時，顯微鏡通過自動移動焦點位置獲取多個共焦圖像。
根據(jù)非連續(xù)的焦點位置（Z）和檢測光強(qiáng)度（I）可以估算每個像素的光強(qiáng)變化曲線（I-Z曲線），并獲得其峰值位置和峰值強(qiáng)度。由于所有像素的峰值位置與樣品表面的不規(guī)則性相對應(yīng)，因此可以獲得樣品表面的3D形狀信息。與此類似，通過峰值強(qiáng)度數(shù)據(jù)可以獲得針對樣品表面所有位置焦點的圖像（擴(kuò)展圖像）。
主機(jī)規(guī)格：
| 型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | ||||
| 總倍率 | 54x - 17,280x | ||||||||
| 視場直徑 | 16 μm - 5,120 μm | ||||||||
| 測量原理 | 光學(xué)系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描激光顯微鏡 反射式共焦激光掃描激光-DIC 顯微鏡 彩色 彩色DIC | |||||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） 色彩：CMOS 彩色相機(jī) | ||||||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5 納米 | |||||||
| 動態(tài)范圍 | 16 位 | ||||||||
| 可重復(fù)性 n-1 *1 *2 *6 | 20x : 0.03 μm, 50x : 0.012 μm, 100x : 0.012 μm | ||||||||
| 精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | ||||||||
| 拼接圖像精度 *1 *4 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | ||||||||
| 測量噪聲（SQ 噪聲）*1 *5 *6 | 1 納米 | ||||||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1 納米 | |||||||
| 可重復(fù)性 3 n-1 *1 *6 | 20x : 0.05 μm, 50x : 0.04 μm, 100x : 0.02 μm | ||||||||
| 精度 *1 *3 *6 | 測量值 +/- 1.5% | ||||||||
| 拼接圖像精度 *1 *3 *6 | 20x : 15+0.5L μm, 50x : 9+0.5L μm, 100x : 7+0.5L μm (L: 拼接長度 [μm]) | ||||||||
| 單次測量時測量點的數(shù)量 | 4096 x 4096 像素 | ||||||||
| 測量點的數(shù)量 | 3600 萬像素 | ||||||||
| XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 | |||
| 工作范圍 | 100 x 100 mm 電動 | 100 x 100 mm 手動 | 300 x 300 mm 電動 | 100 x 100 mm 電動 | 100 x 100 mm 手動 | ||||
| 樣品高度 | 100 mm | 30 mm | 30 mm | 210 mm | 140 mm | ||||
| 激光光源 | 波長 | 405 nm | |||||||
| 輸出 | 0.95 mW | ||||||||
| 激光分類 | 2 類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | ||||||||
| 彩色光源 | 白光 LED | ||||||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | ||||
| 質(zhì)量 | 顯微鏡主體 | 約 31 公斤 | 約 30 公斤 | 約 50 公斤 | 約 43 公斤 | 約 39 公斤 | |||
| 控制器 | 約 12 公斤 | ||||||||
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