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高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。

詳細(xì)介紹

概述

產(chǎn)品參數(shù)

MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級(jí)微細(xì)圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目	內(nèi)容
樣品尺寸	50mm×50mm×12mm（t）以下
樣品臺(tái)	5軸電動(dòng)機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)
加速電壓	1～30kV　（0.5kV～　選配）（0.5～1.0kV ：步長(zhǎng)0.1kV）（1.0～2.0kV ：步長(zhǎng)0.2kV）
二次電子分辨率	4nm＠30kV
探針電流	90nA
探針電流密度	50A/cm2